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产品名称
本规格书为关于鼎朝科技镭富自动化出产且针对TFT-LCD 面板设计之镭射修补系统。本设备搭载HOYA 镭射系统(含Laser Head、Laser Controller)、精密光学影像系统(镭射加工/观测专用显微镜、镭射加工专用光学物镜、影像观测物镜)、X/Y/Z 马达驱动系统、电控系统、气压制震系统(可选配)、精密钢构底座及设备安全外罩(可选配)等所組成。本设备可针对工件特定材质层进行短路缺陷修补处理。加工件为采用人工模式取放。
详细介绍
1. 机台简介
本规格书为关于鼎朝科技镭富自动化出产且针对TFT-LCD 面板设计之镭射修补系统。本设备搭载HOYA 镭射系统(含Laser Head、Laser Controller)、精密光学影像系统(镭射加工/观测专用显微镜、镭射加工专用光学物镜、影像观测物镜)、X/Y/Z 马达驱动系统、电控系统、气压制震系统(可选配)、精密钢构底座及设备安全外罩(可选配)等所組成。本设备可针对工件特定材质层进行短路缺陷修补处理。加工件为采用人工模式取放。
2. 面版尺寸
CELL SIZE:65"(1240mm x 740mm)
入料方式:长边入料
※参考规格,依客戶提出产品尺寸确认
3. 机台规格
3-1 X/Y/Z轴驱动系统
项目 说明
X、Y轴有效行程 1250mm x 900mm
X、Y轴驱动形式 1um/pulse
重现性 ≦±5 um
Z轴最大行程 150mm
Z轴驱动形式 伺服马达系统搭配精密螺桿
Z轴最小解析度 0.1um/pulse
(依实际设计配置为准)

3-2 镭射发振器
项目 说明
镭射种类 ND:YAG Laser
镭射波长 1064nm
镭射功率(最大輸出)  1064nm:5mJ/pulse
最大Peak Power  1064nm:0.7mW
1064波幅 8-6nsec
发振频率 1-20Hz
冷卻方法 水冷式
输出能量控制 512 steps for 0-100%※Hi/Low switch-able
Flash Lamp Life time 1年或大于1000000shots
镭射发振器保固期 1年
介面   RS-232

(依实际镭射配置规格为准)
3-3 Laser Slit
项目 说明
修补尺寸 物镜倍率      加工尺寸
 NIR 50x 物镜; min: 3um x3um
NIR 20x 物镜  max: 120um x 120um

3-4 光学影像系统
项目 说明
显微镜   观测/镭射加工专用型
CCD   1/2”Color CCD
落射光源  高亮度卤素光源系统(100W)
透射光源     高亮度卤素光源系统(150W)
Guide Light  高亮度卤素光源系统(100W)
物镜切换系统     4孔/电动切换式(线性)

3-5 精密物镜组
项目 说明
M Plan APO 5 x  观察
M Plan APO 10 x   观察
M Plan NIR 20 x   观察/镭射加工
M Plan NIR 50 x    观察/镭射加工

3-6 自动对焦系统
项目 说明
对焦类型 手动式对焦

3-7 加工载台
项目 说明
主要功能     工件承载使用
材质      精密研磨光学玻璃平台(Glass Stage)
尺寸       1240mm x 740mm
底座       精密钢构底座

3-8 避震系统
项目 说明
避震形式     气压式避震
自然频率(垂直/水平)  2~2.3 Hz
厂家供气规格       4~6 kg/cm^2 (Compressed or Nitrogen Gas)
(设备需求地板防震等级:B 等级)
ATS LR2200M using in SEMI standard vibration spec V.C.B. as below.
Should meet the following condition even when operating surrounding equipments
3-9 PC规格
项目 说明
PC          业级电脑(IPC)
CPU   2.4G Hz
OS      Windows System
HD     500G *1
RAM  2G 
Language     繁中
Monitor   19’’
Key Board   ATS-STANDARD
Mouse     ATS-STANDARD

3-10 其它规格
项目 说明
背光箱 寻找亮点缺陷之光源灯箱

4. 操作模式
4-1 软体功能
(1) 镭射巨集模式操作功能
提供 Point / Line / Block 三种雷射加工模式,将Recipe 中的镭射参数,依使用者
在画面中教导预修补的路径与型式,教导完后作一次性的快速修补
(2) 镭射手动操作击发功能
(3) 快速荧幕画面滑鼠点击移动
(4) Recipe 存档功能
提供有关镭射参数/基板参数 Recipe 存档功能
(5) 滑鼠拉框开启Slit 功能
利用滑鼠在荧幕上做拉框的动作直接开启Laser 对应的Slit 大小
(6) 使用者登入/登出 (权限管理)
(7) 上下光源手动调整
(8) 上下光源配合各倍率设定自动调整
(9) 基本量测工具
(10) 图片Image 存档功能
(11) 镜头切换自动校正功能
(12) 影像参数设定功能
a. 明亮度设定
b. 对比度设定
c. 饱和度设定
d. 对比度设定
(13)操作语系选择
a. 繁中
b. 英
4-2
项目 说明
手动操作模 操作人员可利用滑鼠、透过系统画面确认

5. 公用设备
5-1 电源
项目 说明
组数 1 组
电源 3 phase /AC 220 V ± 10%, 30A
电源接头 M6 端子台
接地线 JIS 等级1, 8mmsq 以上

5-2 Vacuum
项目 说明
组数 1 组
气压 -500mm Hg
流量 100L /Min
接头 8mm Swagelok

5-3 CDA
项目 说明
组数 2 组
气压 5 Kg / cm2
流量 100L /Min
接头 8mm Swagelok

6. 外观
项目 说明
组数 2 组
尺寸 Within 2320mm(W) x 2160mm(D) x 2000mm(H)
重量 Within 1.2T

(依据实际设计尺吋为准)

7. 安全外罩
1) 外框架颜色 : 标准色
2) 外罩颜色 : 标准色

8. 使用环境
项目 说明
Temperature 20-26
Humidity 30-70% (No dew drop is allowed)
Clean level Class 10,000

9. 保固期限
验收后提供18个月保固服务(不包含消耗备品)。
<机台保固范围不包含以下例外状况所造成之损坏或异常>
因疏失的人为操作而导致故障。
因天然灾害而导致故障。
因客戶之改造、解体、移设或修理而导致故障。
请各位朋友注意遵纪守法并注意文明用语!
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